HaloVac 油有四种不同的粘度(60、100、125 与 190 厘沲)。 其中,Halovac 190 的蒸汽压力最低。 这样您便可以选择合适的真空泵油粘度。 HaloVac 油可用于半导体行业中的各种主要泵。
HaloVac 油与全氟聚醚油相比,其优点在于遇到氯化铝和三氯化硼时表现更稳定。
如果您有关于系统中 HaloVac 油的任何问题,请联系 Halocarbon。